

岡田 康介
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はじめに
このページでは、真空計について、初心者の方にも分かりやすい言葉で丁寧に解説します。真空計は、空間の気体の量を測って圧力を数値で示す道具です。私たちの身の回りにはあまり登場しませんが、半導体製造や医療機器、実験室の研究、真空成形や真空包装など、さまざまな場面で活躍しています。
まず前提として覚えておきたいのは、真空計は「圧力を測る道具」であり、測定する圧力の単位が Torr、Pa、mbar など複数ある点です。圧力が低いほど真空度が高いという考え方を押さえておくと、後の話が理解しやすくなります。
真空計とは何か
真空計とは、内部の気体分子の数を測って「圧力」を示す装置です。圧力は「力の大きさ×単位面積」で表され、真空計はこの圧力を数値で読み取り、人や機械に安全な範囲かどうかを知らせてくれます。
日常生活での「圧力」は風船が膨らむときの内部圧力などですが、真空計はそれよりさらに低い圧力、つまり空気がほとんどない状態を測定します。これにより、機械が正しく動作するかを判断したり、研究の精度を高めたりします。
真空計の代表的な種類と原理
真空計には目的や測定範囲に応じていくつかの種類があります。以下では、初心者にも知っておいてほしい代表的な三つのタイプを紹介します。
1) 熱線式真空計(Pirani式)
このタイプは、内部にあるヒーターの発熱量と抵抗値の変化から圧力を読み取ります。空気が少なくなると熱が逃げにくくなり、ヒーターの温度が上がるため、抵抗値が変化します。中~低真空領域で安定して使えるのが特徴です。
2) 容量式真空計(コンデンサー式、Capacitance manometer)
このタイプは、圧力の変化によって膜の距離がわずかに変わる仕組みを利用します。膜と電極の間の容量が変わるため、それを検出して圧力を読み取ります。低真空領域で高い再現性があり、非磁性・非腐食性の環境にも適しています。
3) イオン計(イオン化式真空計)
高真空や超高真空領域を測るときに用いられるのがこのタイプです。真空中の気体分子をイオン化させ、生成したイオンの電流を測定して圧力を推定します。強い放電を伴うため、使い方には注意が必要ですが、最も広い範囲をカバーできるタイプの一つです。
測定範囲と使い分けのコツ
三つの代表的な真空計には、それぞれ測定できる圧力の範囲があります。以下では大まかな目安を示しますが、実際には機種ごとに仕様が異なるので取扱説明書を確認してください。
正しい使い方のコツとお手入れ
真空計を正しく使うには、まず適切な真空ポンプやその他の周辺機器と組み合わせることが大切です。測定前には機器の清掃や接続部の点検を行い、パイプの漏れを防ぎましょう。内部検査が必要な場合は専門の技術者に依頼してください。
使用中は、電源の安定供給と過負荷にならないような設定を心がけます。特にイオン計を使う場合は、放電を起こさないように初期電圧を控えめから始め、徐々に調整します。長く使うためには、定期的な 校正 が推奨されます。校正はメーカーの指示に従い、信頼性の高いデータを維持してください。
用語の解説
- 圧力: 単位面積あたりの力の量。真空計はこの数値を読み取ります。
- Torr・Pa・mbar: 真空の圧力を表す単位。機器ごとに採用される表示が異なります。
- 真空度: 真空計で測った圧力の「低さ・高いさ」を表す総称です。
まとめ
本稿では、真空計の基本的な役割と、代表的な三種の真空計について、その原理と使い方、測定範囲の違いを解説しました。用途に応じて適切なタイプを選ぶことが大切です。機械の安全性や測定の精度を保つためには、定期的な点検と校正、そして取扱説明書の指示に従うことが最も重要です。今後、具体的な機種選びに進む際には、測定範囲、応答速度、設置スペース、コスト、メンテナンスのしやすさを総合的に比較して決めましょう。これから真空計を学ぶ人にとって、今回の解説が基礎固めになることを願っています。
真空計の同意語
- 真空計
- 真空の圧力を測る計測機器。通常は装置内の低圧・真空領域の圧力を表示します。
- 真空圧計
- 真空領域の圧力を測定する計器。真空機器の圧力値を表示する目的で用いられます。
- 真空ゲージ
- 真空の程度を測る計測機器の日本語表現。真空計とほぼ同義です。
- ヴァキュームゲージ
- 英語由来の表記で、真空圧力を測る計器のこと。真空ゲージと同義です。
- 真空度計
- 真空の程度(どれだけ真空に近いか)を測る計器。真空度を表示します。
- 真空圧力計
- 真空領域の圧力を測る計測機器。圧力の数値を表示します。
- 真空用圧力計
- 真空用途に特化した圧力計で、真空側の圧力を測定します。
- 低圧計
- 低圧領域を測る圧力計。真空系の測定にも用いられることがあります。
真空計の対義語・反対語
- 圧力計
- 圧力を測定する機器。真空計が低圧(真空)を測るのに対し、圧力計は一般的な圧力域を測定する概念的な対義語です。
- 気圧計
- 大気圧を測定する機器。真空とは反対の圧力領域である大気圧を測るための道具です。
- 大気圧計
- 大気圧を測定するための機器。広義には気圧計とほぼ同義で、真空状態の対極として捉えられます。
- 高圧
- 高い圧力の状態。真空の反対概念として、空間内の分子が強く押し合う圧力状態を指します。
- 常圧
- 通常の大気圧程度の圧力状態。真空とは異なる、日常的な圧力のひとつとしての対義語です。
- 圧力センサ
- 圧力を検知・測定するセンサー。真空計と同様の測定対象を扱うが、一般的には広い圧力範囲をカバーする機器の総称として用いられます。
真空計の共起語
- 真空
- 空気がほとんどなく、圧力が非常に低い状態のこと。真空計はこの低圧を測定・表示します。
- 圧力
- 力の大きさを示す物理量。真空計はこの値を測定・表示します。単位にはPa、 Torr、mbarなどが使われます。
- 高真空
- 非常に低い圧力領域。薄膜成長や表面分析、半導体製造などで必要とされる領域です。
- 低真空
- 粗真空・低圧領域を指す区分。ポンプダウンの初期段階で達成される圧力帯です。
- Pirani計
- ガスの熱伝導を利用して圧力を測る真空計。中〜低真空域で主に用いられます。
- イオン計
- 非常に低い圧力を測定するゲージ。ガスをイオン化して電流から圧力を算出します。
- 容量性真空計
- 容量変化を利用して圧力を測定する高真空・超高真空領域の真空計です。
- 測定範囲
- 真空計が測定できる圧力の範囲。機種ごとに定められています。
- 応答時間
- 圧力の変化に対して読み値が安定するまでの時間。用途により短い方が望まれます。
- 校正
- 正確な測定値を得るための調整作業。標準ガスを用いて行うことが多いです。
- ポンプダウン
- 室内を排気して真空状態にする過程のこと。実験準備などで頻繁に行われます。
- 真空ポンプ
- 室内の圧力を下げる装置。ロータリーポンプ、分子ポンプ、ターボ分子ポンプなどが用途別にあります。
- 真空チャンバー
- 真空環境を保持する容器。試料やプロセスを収容します。
- ガス種
- 測定時に存在するガスの種類。感度や読み値に影響することがあります。
- ガス組成
- 室内のガス成分の割合。水素・窒素・酸素などの組成が測定値に影響します。
- 標準ガス
- キャリブレーションに用いる基準ガス。正確な測定には欠かせません。
- 出力
- 真空計の信号出力。アナログ4-20mA/0-10Vやデジタル出力など、他機器と接続します。
- 温度補正
- 温度変化が測定値に影響する場合、その影響を補正する処理や設計のこと。
- 表示単位
- 圧力の表示単位。Pa、 Torr、 mbar など、機器によって切替可能なことが多いです。
真空計の関連用語
- 真空計
- 空間の圧力(真空度)を測定する機器の総称。内部は圧力を電気信号として表示します。
- Pirani計
- 熱伝導を利用して圧力を測定する真空計。主に粗真空から中真空領域で使用されます。
- 熱電対計
- 熱電対を用いて温度変化を圧力に換算して測定する真空計。中〜高真空領域で用いられることが多いです。
- サーモパイル式真空計
- 複数の熱電素子を組み合わせて温度変化を検出する真空計の一種で、安定性に優れます。
- イオン計
- 真空中でガス分子をイオン化して圧力を測る計測機。高真空領域で広く使われます。
- ベイヤード・アルパート式イオン計
- Bayard-Alpert型のイオン計で、高精度の超高真空測定に適しています。
- ホットカソード式イオン計
- ホットカソードを用いるイオン計で、初期の高真空測定機として用いられます。
- コールドカソード式イオン計
- コールドカソードを用いるイオン計で、寿命とメンテナンス性の点で利点があります。
- 絶対圧
- 空間の絶対圧を直接測定する系統。大気圧の影響を受けず真空度を表します。
- ゲージ圧
- 大気圧を基準とした相対圧の表示。真空計の表示として用いられることが多いです。
- ラフ真空
- 大気圏に近い圧力から中程度の低圧領域を指す区分です。
- 低真空
- 約1 Torrから約10^-3 Torrの領域を指します。
- 高真空
- 約10^-3 Torr以下の領域を指す区分で、イオン計などの高精度測定が必要です。
- 超高真空
- 約10^-9 Torr以下までの非常に低い圧力領域を指します。
- トール
- 圧力の単位。1 Torrは約133.322 Pa。真空測定で広く使われます。
- パスカル
- 圧力のSI単位。1 Paは1 N/m^2。
- ミリバール
- 1 mbarは100 Pa。圧力表示の単位として使われることがあります。
- ダイヤフラムゲージ
- ダイヤフラムを用いた機械式圧力計で、ラフ真空領域に適します。
- マノメータ
- 液柱や膜などを用いて圧力差を測定する計器。真空領域にも適用されます。
- ゼロ点調整
- 表示を正確に合わせるための初期設定・調整作業。
- キャリブレーション
- 正確さを保つため、標準と照合して測定値を合わせる作業。
- 測定レンジ
- 機器が適用できる圧力の範囲を指します。
- 感度
- 圧力の変化に対する出力信号の変化量。高感度ほど微小圧力変化を検出しやすいです。
- 応答時間
- 測定値が新しい圧力に安定するまでの時間のこと。速いほど即時性が高いです。
- 絶対圧とゲージ圧の違い
- 絶対圧は空間の実際の圧力を示すのに対し、ゲージ圧は大気圧を基準にした相対的な圧力表示です。
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