

岡田 康介
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光干渉計とは何か
光干渉計 とは、光が進む道の長さを正確に比較し、干渉という現象を使って差を測る装置です。ここでいう干渉とは、二つの光の波が重なるときに生まれる明るさの帯のことを指します。
波の性質を利用するため、同じ波長のコヒーレントな光を出すレーザーがよく使われます。
基本のしくみ
しくみの基本は三つです。まず光源から出る光を分ける ビーム分割。次に分けられた二つの光路をそれぞれ別の道を進ませ、最後に元の場所で再び合わせて 干渉 を観察します。結果として生まれる明暗の帯を「フリンジ」と呼び、パスの差が変わるとフリンジの位置が動きます。
代表的なタイプ
よく使われるタイプには、ミケルソン型と マッハツェンダー型 などがあります。ミケルソン型は二つの対称的な経路を持ち、反射鏡とビーム分割素子で構成されます。マッハツェンダー型は二つの経路がずれているのが特徴で、実験室での測定に広く使われています。
測定のしくみと解釈
パス差が小さくなるとフリンジが動いたり、明暗のコントラストが変化します。装置を微妙に動かすとどう変化するかを数えたり、スクリーンやカメラで取り出した干渉パターンを解析したりします。研究では、波長の長さの十分の一程度の変化を測ることが目標になることが多く、ナノメートルオーダーの変化を検出できることがあります。
部品のイメージと表
以下は光干渭計の基本的な部品のイメージと役割です。
身近な応用と将来
光干渉計は、半導体製造の検査、材料の表面の平坦さの測定、そして巨大研究プロジェクトである重力波検出器の基盤技術としても使われています。日常生活の中では、測定器の基盤技術としての役割を理解すること自体が学びにつながります。
安全と注意点
レーザーを使う装置のため、適切な安全配慮が必要です。眼に光を直視しない、機材に触れる前に電源を切る、など基本的な安全ルールを守りましょう。
まとめ
光干渊計は光の波の性質を利用して微小な長さの変化を測る強力な道具です。ビーム分割と干渉という二つの現象を組み合わせ、正確な距離や表面の状態を評価します。研究分野だけでなく教育の現場でも、波の性質と測定のしくみを学ぶ良い教材になります。
光干渉計の同意語
- 干渉計
- 波の干渉を利用して距離・位相・厚み・変位などを高精度に測定する計測機器の総称。光干渉計はこの干渉計の光を用いる代表的な一種です。
- 光学干測計
- 光を対象とする干渉現象を利用して測定する装置。実務文献では『光学干渉計』の表現として使われることがあります。なお、表記揺れが生じやすいため文献ごとに読み方が異なることがあります。
- 干渉儀
- 干渉現象を利用して測定・検出する機器の総称。光を用いる場合は光干渉儀と同義に使われることが多いです。
- 光干測儀
- 光を用いる干渉儀の表現。実務で使われることがありますが、正式には『光干渉儀』と書かれることが多いです。
- 光干渉儀
- 光を用いる干渉儀。干渉計とほぼ同義で使われることがあり、光を対象とした干渉を測定に用いる装置を指します。
- 光波干渉計
- 光の波としての干渉を利用して測定する装置。光学干渉計の別表現として使われることがあります。
- オプティカル干渾計
- 英語表記 Optical Interferometer の日本語表記の一つ。専門文献で見られる表現です。
- 光学的干渉計
- 光学分野で用いられる干渉計を指す表現。光を用いた干渉測定を中心に扱う機器を指します。
- 光干渉測定器
- 光干渉を用いて測定を行う器具。干渉計・干渉儀の代替表現として使われることがあります。
光干渉計の対義語・反対語
- 闇
- 光がなく暗い状態。光干渉計が光を使って測定する道具であるのに対して、闇は光を必要としない、または光がない状態をイメージさせる対義語的語。
- 暗闇
- 明るさが欠如した状態。光を使わない条件を連想させる語。
- 黒
- 光を吸収し暗く見える状態。視覚的な光の対義語として使える語。
- 非干渗?
- 誤字混入を避け、正しくは『非干渉』または『非干渉計』。干渉を使わない、もしくは干渉を前提としないことを示す語。
- 非干渉
- 干渉現象を用いない、干渉を使わないという意味。
- 非干渉計
- 干渉を用いない計測機器を指す語。
- 干渉なし
- 干渉が起こらない状態。干渉を前提とする光干渉計の対義となる概念。
- 直接測定
- 干渉を介さず、直接的に量を測る方法の概念。光干渉計の間接測定と対比するイメージ。
- 無光測定
- 光を使わない測定法。光を前提とする光干渉計の対義のイメージ。
- 非光学式
- 光学的原理を使わない測定・検知手法を指す語。
- 光学以外の測定法
- 光を使わず、非光学的な原理で測定する方法の総称。
光干渉計の共起語
- 干渉
- 光波同士が重ね合わさって強度が周期的に変化する現象。光干渉計ではこの干渉を利用して、微小な距離差や厚さ差を測定します。
- 位相
- 波が進む経路の山と谷の位置関係。干渉計では2つの光路の位相差が干渉縞の明暗を決めます。
- 光路差
- 2つの光路の長さの差。微小な変位や厚さ差の検出に直結する基本量です。
- 光路長
- 光が進む総距離。実質的には光路差と関連します。
- コヒーレンス
- 2つの光波の波面の揃い具合、相関の強さ。高いコヒーレンスほどはっきりとした干渉を生みます。
- ビームスプリッター
- 入射した光を2つの経路に分割する部品。マイケルソン干渉計やマッハツェンダー干渉計で重要です。
- ミラー
- 光路を反射させ、干渉経路を作る鏡。平面鏡や曲率を持つ鏡が使われます。
- レーザー
- 狭帯域で安定した光源。干渉計の光源として一般的に用いられます。
- 光源
- 測定に用いる光の元。レーザーのほか白色光なども使われます。
- 検出器
- 干渉後の光を電気信号に変換するセンサ。フォトダイオードや光電素子が代表例です。
- フォトディテクター
- 検出器の具体的な名称。光を電気信号に変換します。
- フリンジ
- 干渉縞の総称。明るさが縦縞状に変化する可視パターンです。
- 干渉縞
- 光の強度が縞状に変化する模様。距離差の指標として用いられます。
- 参照光
- 基準となる光路の光。対となる試料光と干渉します。
- 試料光
- 測定対象の光。試料の特性を反映した光として戻ってきます。
- アライメント
- 光路を正確に重ね合わせるための調整作業。ずれがあると干渗が崩れます。
- 白色光干渉法
- 白色光を用いる干渉法。表面の微小高度差を高精度で測れます。
- マイケルソン干渉計
- 光を2つの経路に分けて再結合させ、干渉を観測する代表的構成。
- マッハツェンダー干渉計
- 2つのアームを分割・再結合して干渉を得る構成。実験・計測で広く使われます。
- フィゼー干渾干渉計
- 別の幾何学的構成の干渉計。特定の測定用途に適します。
- 測定
- 対象の物理量を数値として得る行為。干渾計では距離・厚さ・高さなどを測定します。
- 測定精度
- 測定結果の誤差が小さいこと。高精度を目指して様々な対策がとられます。
- ノイズ
- 信号に混入する不要な成分。測定精度を低下させます。
- 振動
- 外部振動が光路長を変え、干渉パターンを揺らす要因です。
- 温度安定性
- 温度変化が光路長に影響するため、安定性が重要です。
- 校正
- 測定値を基準値に合わせて補正する作業。信頼性を担保します。
- データ処理
- 取得した干渉データを解析・可視化する処理全般です。
- 非接触測定
- 対象物に触れずに測る測定方法で、光干渉計の長所の一つです。
- 表面形状測定
- 表面の形状を干渉計で測る用途。
- 表面粗さ測定
- 表面の細かな凹凸の程度を評価します。
- 厚さ測定
- 薄膜や材料の厚さを干渉計で測定する用途。
光干渉計の関連用語
- 光干渗渉計
- 光の波を2つの経路に分けて再結合させ、位相差やパス長の差を測定する装置。微小な長さ変化の検出に使われます。
- 干渉
- 2つの光波が重なるときに生じる強度の変化。波の位相差によって明るくなる明干渉と、暗くなる暗干渉が現れます。
- 干渉縞
- 干渉の結果として観察される明暗の帯。パス差が変わると縞の位置が動きます。
- 位相
- 波が山と谷の位置関係。干渉計では位相情報を測定の基本単位として扱います。
- 位相差
- 2つの光波の波面のずれ。0に近いと明干渉、πに近いと暗干渉になります。
- パス差
- 2つの光路の長さの差。干渉の強さと干渉縞の位置を決定する主な要因です。
- 波長
- 光の波の1周期の長さ。干渉計の感度は用いる波長に依存します。
- コヒーレンス
- 光波が互いの位相関係を保つ性質。高コヒーレンスほど安定した干渉が得られます。
- コヒーレンス長
- 干渉を成立させられるパス差の上限。これを超えると干渉が弱まります。
- コヒーレンス時間
- 位相関係が保たれる時間の長さ。長いほど安定した干渉が可能です。
- ビームスプリッター
- 光を2つの経路に分ける部品。半透鏡や薄膜が使われ、干渉計の核となる要素です。
- 参照光
- 干渉計で基準として使われる光。試料光と重ね合わせて干渉を生み出します。
- 試料光
- 測定対象の光。試料の変化により位相差が生じます。
- ミラー/鏡
- 光を反射させて経路を作る部品。高精度の平面鏡が用いられます。
- レーザー
- 高いコヒーレンスと狭いスペクトル幅を持つ光源。干渉計で広く使われます。
- 単色光
- スペクトル幅が狭い光。干渉縞を鋭く観察するのに適しています。
- ヤングの干渉実験
- 二つの小孔を通した光が干渉する古典的な実験。干渉の基本原理を示します。
- ミケルソン干渉計
- ビームスプリッターと二枚の鏡から成る代表的な光干渉計。長さ差の測定に適します。
- マッハツェンダー干渉計
- 二つの経路を分けて再結合させる構成で、参照光と試料光を組み合わせて干渉を作ります。
- ファブリペロー干渉計
- 多重反射を利用して狭いスペクトル幅の干渉を得る装置。高分解能測定に向きます。
- アライメント/光路合わせ
- 光路を正確に重ね合わせる作業。干渉計の性能を左右します。
- 偏光制御
- 偏光状態を調整して干渉条件を安定させる。特定の干渉パスを強くするのに使います。
- ノイズ源
- 温度変動、振動、電源ノイズなど、測定を乱す要因。
- 温度安定化
- 温度変化を抑える工夫。パス差のドリフトを低減します。
- 振動絶縁
- 外部振動を遮断して測定精度を保つ対策。
- 長尺素子/光ファイバー干渉計
- 長い光路をファイバー化して小型化・長距離測定を可能にする構成。
- 測定対象例
- 表面形状、薄膜厚、距離、屈折率の変化などを検出します。
- 応用領域
- 半導体・材料検査、表面検査、光学部品の品質管理、振動測定、ナノ測定など。